LDTW-15A 在线管式PECVD上下料机

– 速度：6000片/小时（根据不同舟型会有变动)

– 极低的破损：≤0.03%，先导设计的精密吸片系统和石墨舟定位机构，保证了极低的碎片率

– 运行时间高达98.5%：成熟的设备和软件设计，机构品牌机械臂+久经考验的零部件=良好的品质氧化

– 锆陶瓷吸盘，对膜面损伤降到，减少吸盘印隐患

– 带有掉片、漏吸检测功能，标配人工干预位及吸笔

– 预留PL工位，可兼容面阵及线扫AOI相机，可从硅片上方检测也可在硅片下方检测，有效的避免了硅片划伤

– 具有RFID花篮追踪、AGV小车对接等功能

– Softtouch工作理念：动作过程中与硅片接触搬运过程中均轻柔动作，以减少碎片

– 方便的操作与维护：PLC控制人机界面易于使用和理解，安装时间短

本设备为产品，仿冒必究！