硅片刻蚀清洗自动上料机

应用：

硅片刻蚀清洗上料机是将硅片承载盒中自动放置刻蚀清洗机上的设备。部件采用防腐工艺处理，保证在恶劣环境下设备长寿命、高可靠性运行。该机与市场其他上料机的不同是：设备具有硅片扩散面与非扩散面自动识别系统，对需要翻面的硅片自动完成翻面过程。

特点：

• 产能≥3400片/小时，实际产能（非额定）根据客户需求定制设备

• 具有硅片扩散面与非扩散面自动识别系统，对需要翻面的硅片自动完成翻面过

程

• 识别准确率：99.99%

• 具有叠片检测功能

• 具有破片检测及剔除功能